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技术与服务

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技术与服务


 

 

序号特征参数测试方法
1外延层掺杂剂Boron,Phophorus
2外延层晶向<100>,<111>
3外延片尺寸4″,5″,6″,8″
4外延层电阻率0.01~200 ohm-cmASTM    F723    F1392
5外延层厚度0.5~150μmASTM   F95
6堆垛层错密度性≤10/cm²ASTM    F1810
7滑移线≤5条,总长度<1/2圆片直径ASTM    F1725    F1726
8雾、划伤、凹坑、桔皮、裂纹、鸦爪、崩边、异物、背面沾染

 

 

ASTM    F523

9冠状边缘表面上凸起物高度不超过1/5外延层厚度
10点缺陷SEMI标准ASTM F523


 

序号特征参数测试方法
1外延层掺杂剂Boron,Phophorus 
2外延层晶向<100>,<111> 
3外延片尺寸4″,5″,6″,8″ 
4外延层电阻率0.01~200 ohm-cmASTM    F723    F1392
5外延层厚度0.5~150μmASTM   F95
6堆垛层错密度性≤10/cm²ASTM    F1810
7滑移线≤5条,总长度<1/2圆片直径ASTM    F1725    F1726
8雾、划伤、凹坑、桔皮、裂纹、鸦爪、崩边、异物、背面沾染

 

 

ASTM    F523

9冠状边缘表面上凸起物高度不超过1/5外延层厚度 
10点缺陷SEMI标准ASTM F523


 

 

 


    ✔  外延片厚度2~6um ,不均匀性<±3%;

    ✔  外延片翘曲<30um;

    ✔  外延片2DEG电子浓度>8E12cm-²;

    ✔  外延片电子迁移率>1800 cm²/V.s;

    ✔  外延片方块电阻<350ohm/sq,不均匀性<±3%



     ✔  外延掺杂剂:N型和P型;

     ✔  外延片尺寸:4 inch 、6 inch;

     ✔  外 延 膜 厚:0.5~50um;

     ✔  外 延 浓 度:1E14-1E19/cm3


联系电话:13861729969 陈晶

联系邮箱:sales@jinray.com

        编:323000

        址:浙江省丽水市莲都区南

                 明山街道南明路771号

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